什么是半导体SEM认证？

SEMI简介

SEM是半导体设备与材料的国际性组织（Semiconductor Equipment and Materials International）的简称，成立于1970年，总部位于美国加州，是半导体工业的全球执行联盟。

SEM下属的安全工作小组为了降低机械危害的风险，制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的全球性标准和法规，成为半导体业界对设备系统的必备的规格要求

SEMI标准中有材料（M系列）、设备（F系列）、平板显示器（D系列）、跟踪性（T系列）等，环境·健康·安全（EHS）由S系列规定。

SEMI S2认证简介

SEMIS2认证是针对制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准，符合SEMI S2不仅符合了国际相关规定，也是半导体产业的公司所要求的必要条件之一。

SEMIS2认证以效能考量为主，涵盖导体制造设备的环境、健康及案件条件，具体来说，该标准涉及电气、机械、防火、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域，代表了半导体厂家的基本安全要求。

与其他SEMI指令相比，例如，SEMI S3（人体工学要求）和SEMI S10（风险评估）一起使用，SEMI S2代表了 导体厂家的基本安全要求。过去半导体业者为了降低机械危害的风险，采取非常多类别的防制与管理措施，其中最典型的措施是在采购设备系统时，即将SEMI S2安规认证列为必备的规格要求。

SEMI系列常见标准

SEMI S1-Safety Guideline for Visual Hazard Alerts装置安全标签

SEMI S2-Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment半导体生产装置的环境、健康、安全SEMI S3-Safety Guidelines for Heated Chemical Baths热化学槽的安全性

SEMI S4-Safety Guideline for the Segregation/Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets橱柜收纳高压气筒的隔离/分离SEMI S5-Safety Guideline for Flow Limiting Devices流量限制设备

SEMI S6-Safety Guideline for Ventilation换气

SEMI S7-Safety Guidelines for Environmental，Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment半导体生产装置的环境、健康、及安全性（ESH）评价

SEMI S8-Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment体生产装置的人机工程学SEMI S9-Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment半导体生产装置的电气设计验证试验SEMI S10-Safety Guideline for Risk Assessment风险核查

SEMIS11-Environmental，Safety，andHealth uidelines forSemiconductorManufacturing Equipment Minienvironments半导体生产装置的小环境的环境、安全性及健康

SEMI S12-Guidelines for Equipment Decontamination装置的去污

SEMI S13-Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment半导体生产装置的操作及维护手册

SEMI S14-Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment对半导体生产装置的火灾风险评估和降低

SEMI S15-Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems有毒及易燃气体的检测系统评价SEM1F47-Voltage Sag Standard电压瞬变能力规范

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